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[期刊论文] 作者:袁紫媛,潘睿,夏顺吉,魏炼,叶佳佳,李晨,陈延峰,芦红,
来源:人工晶体学报 年份:2020
硅基上高质量的异质外延生长是实现高性能微电子器件的基础,本文通过低温分子束外延技术在Si衬底上实现了全组分的Si1-xGex(0...
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