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[学位论文] 作者：姚文港,,
来源：吉林大学 年份：2017
近二十年以来,飞秒激光直写加工技术在聚合物中的应用受到了科研工作者广泛的关注。相较于车削加工等传统制作工艺,该技术无论在加工精度还是加工复杂度上都有着巨大的优势。...
[期刊论文] 作者：武艳青,张奇,车相辉,于峰涛,姚文港,董风鑫,
来源：电子工艺技术 年份：2021
制备SiO2腐蚀溶液BOE,对SiO2湿法腐蚀速率和腐蚀形貌进行了剖析.首先分析了光刻工艺对SiO2薄膜纵向和横向腐蚀速率以及侧壁腐蚀形貌的影响,其次对SiO2侧壁腐蚀形貌的形成原理进行分析,并给出了侧壁形貌控制方法.试验结果表明,光刻胶掩模与SiO2膜层之间的附着性......
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