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[期刊论文] 作者：姜永睿,胡雄伟,杨沁清,王红杰,杨澜,谢二庆,
来源：半导体学报 年份：2004
采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶一凝胶，并应用四丙氧基锆作为调节折射率的材料．为了增加薄膜与硅片的粘附作用，先用干氧热氧化法在硅片上生长一层厚度约为150nm的SiO2，然后......
[期刊论文] 作者：姜永睿, 胡雄伟, 杨沁清, 王红杰, 杨澜, 郑金红, 谢,
来源：光子学报 年份：2004
采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法...
[期刊论文] 作者：姜永睿,胡雄伟,杨沁清,王红杰,杨澜,郑金红,谢二庆,
来源：光子学报 年份：2004
采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶 -凝胶 ,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料 ;用该凝胶在硅片上提拉成膜 .为了增加薄膜与硅片的粘附性 ,成膜前先用干氧热氧...
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