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[学位论文] 作者：娄利岗,,
来源：沈阳工业大学 年份：2019
半导体集成电路行业直接影响着一个国家的整体科技水平。集成电路的生产需要真空环境,而真空环境获得的设备各式多样,作为真空获得设备的真空泵以抽速高、振动小、易操作、运行稳定可靠等优良性能越来越多的应用在真空获得场合。随着高新技术产业的快速发展,真......
[会议论文] 作者：娄利岗, 安跃军, 王光玉, 孔祥玲, 张军,,
来源： 年份：2004
目前,多级干式真空泵采用的电机转速普遍较低,造成真空泵在抽速、真空度等方面性能有待改进。针对这一问题,本文设计了多级干式真空泵用的高速永磁同步电机,其定子采用分数槽...
[期刊论文] 作者：安跃军, 娄利岗, 杨天宇, 王光玉, 孔祥玲, 邓文宇,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
为满足在晶圆FAB厂内使用罗茨真空泵的工程需求及性能要求,本文设计了一台1.5 kW小体积高速永磁同步电机并将其作为罗茨真空泵用驱动电机。采用多极少槽的极槽配合方案,减少...
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