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[会议论文] 作者：孔蔚然,,
来源： 年份：2011
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[期刊论文] 作者：董耀旗,孔蔚然,,
来源：功能材料与器件学报 年份：2010
Fowler-Nordheim隧穿被广泛应用于EEPROM和闪存中的擦除操作。多晶硅到多晶硅的F-N隧穿具有较高的隧穿效率。本论文基于分栅闪存存储器的结构,对于多晶硅/隧穿氧化层/多晶硅...
[期刊论文] 作者：陶凯,郭国超,孔蔚然,韩瑞津,邹世昌,,
来源：半导体技术 年份：2005
利用ISSG低压退火法来取代传统的氧气退火法,对沉积后的隧穿氧化薄膜进行退火处理.由于其独特的可控补偿氧化生长机制,最终在晶圆表面形成了厚度均匀的氧化层,薄膜质量也有了...
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