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[期刊论文] 作者:刘玄博,孙广翔,, 来源:电子工业专用设备 年份:2014
高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件。介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见的找心算法以及存在的问题,进而提出新的找圆...
[期刊论文] 作者:杨帆,高岳,孙广翔,, 来源:电子工业专用设备 年份:2014
在蓝宝石衬底的LED生产工艺中,对半导体设备的显微镜成像清晰程度提出了很高的要求。以国内多家LED大型生产厂商的工艺为实验蓝本,针对多种清晰化方案进行了比对,进而提出一...
[期刊论文] 作者:高岳,孙广翔,杨超,杨帆,, 来源:电子工业专用设备 年份:2012
介绍了自动排片机结构及其功能,着重分析研究了自动排片机的视觉系统,针对现有设备上使用的基于灰度识别算法的不足,比对了在Harris角点检测和SIFT算法的基础上,提出了一种适...
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