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[期刊论文] 作者：李立,刘峰,柴立全,王娟,孟月冬,任兆杏,,
来源：中国民航学院学报 年份：2006
利用射频磁控溅射制备了Cr／CrN多层薄膜，并对比单层CrN薄膜，分析研究了多层膜周期与结构和性能之间的关系。研究结果表明：多层膜中没有出现柱状晶体结构，而且结晶取向与单层CrN有......
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