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[期刊论文] 作者:林涛, 张天杰, 李晶晶, 郭恩民, 宁少欢, 段玉鹏, 林, 来源:无机材料学报 年份:2004
为了系统研究VCSEL制作中的湿法氧化过程和机理,设计了专门的材料结构并采用MOCVD技术进行外延生长。对经过光刻和干法刻蚀形成的台面结构样品进行不同时间的湿法氧化,由表面...
[期刊论文] 作者:林涛,宁少欢,李晶晶,张天杰,段玉鹏,林楠,马骁宇, 来源:光子学报 年份:2019
对张应变GaInP量子阱激光器材料结构开展变温光致发光特性的研究,实验中激光器有源区为9nmGa0.575In0.425P量子阱结构,采用N离子注入并结合730℃下的快速热退火处理来诱导有...
[期刊论文] 作者:林涛,张天杰,李晶晶,郭恩民,宁少欢,段玉鹏,林楠,祁琼,马, 来源:无机材料学报 年份:2018
为了系统研究VCSEL制作中的湿法氧化过程和机理,设计了专门的材料结构并采用MOCVD技术进行外延生长。对经过光刻和干法刻蚀形成的台面结构样品进行不同时间的湿法氧化,由表面...
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