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[期刊论文] 作者：廖濑昌彦,安井毅,柳祥训,,
来源：国外化学热处理 年份：1983
当低压气体放电所生成的等离子体作用于固体表面时,固体表面将与等离子体中的活性原子和离子起反应,进而使表面状态发生变化。虽然人们对这一现象早已有所认识,但是直到最近...
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