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[期刊论文] 作者：陈建超,安小广,冯世绪,王加春,,
来源：计量学报 年份：2020
针对原子力显微镜(AFM)扫描参数对成像质量的影响规律,对现有的扫描参数影响成像质量的研究进行了分析。提出了以幅值误差作为评价AFM成像质量的指标,通过实验研究了扫描参数对AFM成像质量的耦合影响。发现了扫描频率f_s、积分增益I和幅值设定点S这3个扫描参数......
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