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[学位论文] 作者：宋修曦,,
来源：武汉工程大学 年份：2018
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[期刊论文] 作者：丁康俊, 马志斌, 黄宏伟, 宋修曦, 任昱霖,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2017
在传统的波导耦合微波等离子体化学气相沉积装置中引入双基片结构,测量了金刚石沉积过程中的等离子体发射光谱,通过与单基片结构对比,比较研究了双基片对微波等离子体参数的...
[期刊论文] 作者：丁康俊, 马志斌, 宋修曦, 夏禹豪, 耿传文,,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2018
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在含有缺陷的单晶金刚石种晶上进行同质外延生长实验,在其他沉积参数保持相同的情况下,研究温度对生长的单晶金刚石缺陷的影响。通过...
[期刊论文] 作者：宋修曦, 马志斌, 耿传文, 丁康俊, 任昱霖,,
来源：人工晶体学报 年份：2018
本文利用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）对不同温度区间下同质外延单晶金刚石的应力作出了相关研究,讨论了不同温度区间下单晶金刚石内部产生应力的原因。结果表明在低温区......
[期刊论文] 作者：吴超,马志斌,高攀,黄宏伟,宋修曦,付秋明,王传新,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2016
利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法,在天然金刚石衬底的（111）晶面上同质外延生长单晶金刚石,研究了沉积温度、CH4浓度以及小角度偏离（111）晶面的衬底对金刚石生长的影响。采用......
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