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[学位论文] 作者：官修龙,,
来源：吉林大学 年份：2004
当今社会,伴随着随着互联网通信技术的发展,物联网时代即将来临,人民的生活向着数字化、信息化发展,而传感器是实现信息数字化的重要手段,特别是随着MEMS技术越来越成熟[1-2]...
[期刊论文] 作者：官修龙,刘丽,何越,王连元,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2017
利用金属铂良好的热敏、热阻特性,以及Si O2良好的绝热、绝缘性能,设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气体传感器。为了使该传感器获得高且均匀的温...
[期刊论文] 作者：官修龙,刘丽,刘震,何越,王连元,,
来源：电子元件与材料 年份：2017
设计了一种新型Zn O微气体传感器的结构,利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的结构进行了分析,并对传感器的基底三层材料的厚度、加热电极的宽度和间距以及测量电极的宽度参数进行了优化,结果得出:当传感器基底中前Si O_2层、中间Si层、后Si O_2层的厚度分别为1......
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