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[期刊论文] 作者：尼启良,
来源：光机电信息 年份：1999
太阳是天文学研究中重要的对象之一,它的光和热是地球上一切生命的源泉,它发出的各种辐射对地球及其周围的环境会产生巨大的影响。对它进行详细的观测、研究,有助于人类了解...
[期刊论文] 作者：尼启良,,
来源：光学精密工程 年份：2006
基于Xe的惰性和在13~14 nm波段高的辐射强度,Xe被认为是极紫外投影光刻(EUVL)潜在的靶材,为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。详细地研究了Xe...
[期刊论文] 作者：尼启良,,
来源：中国光学 年份：2015
本项目对我国空间探测的极紫外（EUV）波段大视场相机所需求的球面光子计数成像探测器的关键技术进行了研究。首先,建立了光阴极材料次级电子产出模型,利用该模型计算了软X射线-E......
[学位论文] 作者：尼启良,,
来源：中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 年份：2004
液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）光源是一种具有较高的软X射线转换效率且能够长期连续运行的低碎屑光源。在极紫外投影光刻及辐射计量等领域有着重要应用价值和广阔的发展前景......
[期刊论文] 作者：尼启良,
来源：光学精密工程 年份：2005
提出了一种新的探测和测量激光等离子体软X射线源光谱强度的方法.此方法使用通道电子倍增器和定标过的硅光电二极管为探测器,前者是非标准探测器,后者为标准探测器.应用电荷...
[期刊论文] 作者：尼启良,
来源：光机电信息 年份：1997
虽然理论上很多单色仪在软X射线波段的分辨本领E/ΔE可以达到10~4量级,但实际上只有几种单色仪能达到这么高的分辨率水平,它们是球面光栅单色仪、SX—700型单色仪及这两...
[期刊论文] 作者：尼启良,
来源：光机电信息 年份：1997
1.引言同步辐射的出现对光学元件的发展起到极大的推动作用,尤其在真空紫外波段元件的性能越来越好。但是可用的元件仅有:反射镜、滤光片、波带片、光栅、多层膜。同时...
[期刊论文] 作者：尼启良,,
来源：光学学报 年份：2013
基于CE-3极紫外(EUV)相机最高工作温度为70℃的要求,对EUV相机的微通道板(MCP)位置灵敏阳极光子计数成像探测器实验件在70℃时的性能进行了研究,该探测器主要由工作在脉冲计...
[期刊论文] 作者：尼启良,,
来源：光学学报 年份：2014
基于远紫外(FUV)成像光谱仪对所用光子计数成像探测器高计数率、高空间分辨率的要求,研制出使用感应电荷位置灵敏阳极的FUV波段二维光子计数成像探测器原理样机,该探测器主要...
[期刊论文] 作者：尼启良,
来源：光机电信息 年份：1999
人类对天文物理现象的不断探索和深入了解,使我们能获得同时具有高的空间、时间、光谱分辨率的天文物理观测结果。但是,硬X射线和γ射线不能用常规的光学元件折射或反射,因...
[期刊论文] 作者：尼启良,陈波,
来源：光学精密工程 年份：2001
介绍了标量和矢量两种散射理论，并用软X射线反射率计对超光滑表面进行散射测量，同时应用这两种理论计算了超光滑表面粗糙度均方根值，从计算结果来看，两种理论所得结果与WYKO测量......
[期刊论文] 作者：尼启良,陈波,
来源：光谱学与光谱分析 年份：2008
基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻（EUVL）应用,研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。该光源由一个可连续控温的不锈钢电磁喷气阀门、YAG激......
[会议论文] 作者：陈波,尼启良,
来源：全国第二次同步辐射光束线工程束线光学与新技术研讨会 年份：1997
...
[期刊论文] 作者：张凯,尼启良,
来源：激光与光电子学进展 年份：2014
为了使极紫外光子计数成像探测器能够高速采集数据并显示光子位置信息，研制了一款数据采集电路系统。分析了基于感应电荷楔条形位置灵敏阳极光子计数成像探测器的成像原理，选用符合性能要求的模数(A/D)转换芯片，在现场可编程门阵列(FPGA)主控芯片的控制下对去除峰......
[期刊论文] 作者：尼启良,陈波,等,
来源：光学精密工程 年份：2002
激光等离子体软X射线光源是脉冲式光源，对这类光源的光谱诊断有几种方法。文章介绍了一种新的、实用的测量激光等离子体软X射线光源光谱的方法。此方法以低噪声的通道电子倍增......
[期刊论文] 作者：尼启良,巩岩,等,
来源：光谱学与光谱分析 年份：2003
介绍了一种无碎屑，高亮度，高工作频率的气体靶激光等离子体软X－射线源，其喷气阀门由压电陶瓷驱动，工作频率可达到400Hz，与金属靶激光等离子体软X－射线源相比，此光源无碎屑，与喷嘴由电......
[期刊论文] 作者：林景全,尼启良,
来源：微细加工技术 年份：1997
软Ｘ射线投影光刻能够制作出特征线宽小于０．１μｍ的线条。激光等离子体源的研究是软Ｘ射线投影光刻中几项关键技术之一。本文报道了１３ｎｍ投影光刻用激光等离子体软Ｘ射线源。......
[期刊论文] 作者：尼启良,林景全,
来源：光机电信息 年份：1997
1.引言同步辐射的出现对光学元件的发展起到极大的推动作用,尤其在真空紫外波段元件的性能越来越好。但是可用的元件仅有:反射镜、滤光片、波带片、光栅、多层膜。同时人们...
[期刊论文] 作者：张大威,尼启良,陈波,
来源：光学精密工程 年份：2004
利用粒子碰撞激发理论,计算了一颗穿行在海拔85～100 km高度范围的高层大气层中的狮子座流星的有效温度及其尾迹主要成分的粒子数密度,用光谱合成软件Cloudy模拟了流星尾迹在日...
[期刊论文] 作者：陈波,尼启良,王君林,
来源：2007中德双边高级专家X射线光学研讨会 年份：2007
综述了我所软X射线-极紫外波段关键技术的研究进展.描述了软X射线-极紫外波段光源技术,研制了工作波段为6～22 nm的微流靶激光等离子体光源;介绍了光子计数成像探测器技术,研制...
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