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[期刊论文] 作者:崇二敏,李晓春,李春,闫鹏勋,张鹏举,刘洋,范晓彦,,
来源:人工晶体学报 年份:2008
利用磁过滤等离子体结合氧化铝模板(AA0)技术在室温下制备了具有优异场发射性能的铜掺杂类金刚石(DLC)纳米点阵列。微观分析表明,铜掺杂类金刚石纳米点阵列分布均匀,密度高达109c......
[期刊论文] 作者:闫鹏勋,李晓春,李春,崇二敏,刘洋,李鑫,徐建伟,,
来源:人工晶体学报 年份:2006
利用自行研制的磁过滤等离子体技术(FCAP),并创造性地对衬底施加低频率周期性负偏压,在室温下的单晶硅表面上制备了高质量的非晶金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM......
[期刊论文] 作者:黄君,毛智彪,景旭斌,曹坚,甘志峰,李芳,崇二敏,孟祥国,李全波,张瑜,,
来源:功能材料与器件学报 年份:2013
相对来讲,i线(i-line)抗酸性要大大强于KrF而不容易产生类似的缺陷,但器件尺寸微缩进入45/40nm技术节点以后,由于受到分辨率(Resolution)和焦深(DepthofFocus)的限制,双栅极(...
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