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[期刊论文] 作者：崔婧怡,马莒生,王广龙,
来源：电子元件与材料 年份：2005
介绍了纳米结构制作的一种新方法--微接触印刷术的工艺流程和关键技术,并简要分析了影响微印刷技术的几个因素.它克服了传统光刻技术的缺陷,能在金、银、硅片等多种基材上制...
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