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[会议论文] 作者：崔梦[1]胡明[1]雷振坤[2]窦雁威[1]田斌[1],
来源：第五届中国功能材料及其应用学术会议 年份：2004
针对多孔硅在MEMS中作为牺牲层和绝热层的应用,主要研究了电化学腐蚀法制备多孔硅的实验条件与多孔硅深度及其孔隙率间的关系,实验发现电化学腐蚀法制备多孔硅的腐蚀速率在腐...
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