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[学位论文] 作者:帅高龙, 来源:西安工业大学 年份:2009
现代干涉测试技术的核心是用合理的算法处理干涉图来获得所需的被测面形及参数。随着光学制造业和加工业的发展,对薄膜器件加工的精度要求越来越高,进而对薄膜制备提出了更高的......
[期刊论文] 作者:帅高龙,苏俊宏,杨利红,徐均琪, 来源:光学与光电技术 年份:2009
在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上,提出一种基于二维FFT的薄膜厚度测量新方法。利用搭建的泰曼-格林型干涉系统,用CCD接收、采集卡采集,可获得被测膜层的干涉条纹图......
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