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[期刊论文] 作者：康洪亮 王云彪 黄彬 张春翔 吴桐,
来源：中国科技博览 年份：2013
[摘 要]本文通过查阅一些文献，简单的介绍了化学机械抛光技术的基本原理，对影响化学机械抛光的主要因素进行了主要分析，并对其研究发展趋势进行了一下展望，以方便读者对化学机械抛光技术进行初步了解。 [关键词]化学机械抛光 抛光液 抛光垫 影响因素 发展趋势 ......
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