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[学位论文] 作者：廉德钦,,
来源： 年份：2013
超声成像技术在医学、无损检测及海底地形探测等领域中应用广泛，而超声传感器作为其主要部件，已成为一大研究热点。其中电容式超声传感器(CMUT)由于有无需匹配层，且带宽较高、易......
[期刊论文] 作者：宛克敬,何常德,廉德钦,薛晨阳,,
来源：压电与声光 年份：2012
提出了一种新的压阻式超声传感器结构,该结构由主振梁和微传感梁组成,在声压的作用下,主振梁振动从而带动微传感梁的振动。通过有限元软件Ansys仿真分析该结构的灵敏度,并与...
[期刊论文] 作者：廉德钦,何常德,苗静,杜春晖,宛克敬,薛晨阳,,
来源：电测与仪表 年份：2012
基于MEMS技术研制的微电容超声传感器,在超声波作用下其有效电容的变化量仅为飞法级,且变化速度非常快,检测很困难。本文提出的半桥式交流电容检测电路能把快速变化的电容信...
[期刊论文] 作者：苗静,何常德,廉德钦,张慧,于佳琪,宛克敬,薛晨阳,张文栋,,
来源：传感技术学报 年份：2012
针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶...
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