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[期刊论文] 作者:廖澄清,朱小平,王蔚晨,杜华,
来源:现代测量与实验室管理 年份:2005
本文从激光干涉仪的工作原理出发,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析,从而提出了测长精度校准的不同方法特点,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合...
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