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[期刊论文] 作者：张家慰,黄明程,
来源：传感器技术 年份：1987
本文介绍了SOS(兰宝石上生长硅单晶)传感器,多晶硅阻传感器以及SOI(绝缘衬底上生长硅)压阻传感器三种可以应用在高温的半导体力敏传感器的结构和制造工艺,着重介绍并分析比较...
[期刊论文] 作者：林海安,张家慰,陈健,
来源：应用科学学报 年份：1992
系统研究了硅各向异性腐蚀对偏压的依赖及重掺杂的影响,建立了液一半接触能带模型和界面电荷传递模型,提出了反应注入概念且指出腐蚀速度通常依赖于界面态的填充情况,合理解...
[期刊论文] 作者：林海安,张家慰,陈健,黄明程,
来源：传感技术学报 年份：1993
本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器,探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺,研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明,SOG传感器在高温、大压力方...
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