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[期刊论文] 作者:张猛 王武 胡智星 马琳丽, 来源:世界家苑·学术 年份:2017
摘要:本文综述了在晶体硅太阳能电池加工工艺过程中的刻蚀清洗工序后加入热氧化流程,从热氧化的基本原理和车间生产实际应用的角度出发,以生产线正常使用的晶体硅片为试验对象,研究和分析热氧化工艺对晶体硅太阳能电池各项电性能参数及外观的影响。  关键词:晶体硅......
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