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[学位论文] 作者：张瑶霖,
来源：东南大学 年份：2020
传统的风速检测方式多为机械式，具有体积大、灵活性较差、可动部件易磨损等缺点，而基于MEMS的热式风速风向传感器可以较好地规避这些问题。目前关于热式风速风向传感器的研究多集中于芯片结构和封装的改善，目的在于量程、灵敏度、响应速度、功耗等指标的优化。本文......
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