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[期刊论文] 作者：张筱朵,秦明,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2007
提出了一种MEMS后处理中正面结构释放的正面保护方法．尤其是针对在CMOS-MEMS工艺制造单片集成传感器时，MEMS后处理工艺中正面体硅湿法腐蚀时对已制作完成的CMOS电路部分的表面...
[期刊论文] 作者：严伟,张筱朵,徐帆,徐波,
来源：光学精密工程 年份：2009
介绍了一种用于MEMS设计的六面体网格划分方法。MEMS工艺决定了大部分MEMS模型都是层状结构，本文针对这种结构提出了一种简便的2．5维划分方法，适用于所有面平行于（x，y）平面或者z轴......
[期刊论文] 作者：孙慧明,张筱朵,吴剑,秦明,黄庆安,,
来源：传感技术学报 年份：2008
提出用硅-硅直接键合的SOI片制作压阻式湿度传感器。它是利用涂覆在硅膜上聚酰亚胺膜吸湿发生膨胀,导致双膜结构发生弯曲产生应力的原理进行工作的。为了确定传感器结构、优...
[期刊论文] 作者：黄晓东,张筱朵,王斌,秦明,黄庆安,
来源：第十届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2007
介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响.使用Pspice对接12电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数.最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果......
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