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[学位论文] 作者:张韦韪,, 来源:中国科学技术大学 年份:2011
自从20世纪后半叶以来,在电子信息技术飞速发展的推动下,半导体制备技术也在突飞猛进的发展,制备的极限尺寸从最初的微米量级逐渐发展到现今的纳米尺度。在这种技术背景下,人...
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