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[期刊论文] 作者：彭少麒,杨德胜,陈运芝,,
来源：中山大学学报(自然科学版) 年份：1978
一、概述我们知道在六十年代出现的半导体集成电路,是与半导体工艺的发展紧密联系的,其中最重要的是硅平面工艺的发展。硅平面工艺的第一个基本程序就是在硅的表面上通...
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