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[期刊论文] 作者:阙端麟,陈修治,徐冬良, 来源:电子学报 年份:1995
本文在数值分析和实验数据的基础上,提出了用单色光高频光电导衰减法测量硅单晶少子寿命的表面复合修正公式。...
[期刊论文] 作者:徐冬良,郭如芳,李吉海,谭玉华,余斌,燕朝林, 来源:稀有金属 年份:1984
一、前言 在热氧化后的硅片上,经常出现密集分布的雾缺陷。在器件工艺中,雾缺陷的存在将严重影响器件工艺的成品率,所以很久以来硅片上的雾缺陷一直引起人们的极大注意,...
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