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[期刊论文] 作者:徐树深, 来源:真空 年份:2000
真空容器充气时间的计算 ,至今尚无简易方便的计算公式。本文通过对空气流经充气阀孔向真空容器充气时气体流动状态的判别 ,又根据真空容器与充气装置的构成关系 ,建立数学模...
[期刊论文] 作者:徐树深,王瑛, 来源:真空 年份:2000
本文根据对引进的国外 VPI设备所进行的调研、分析以及本人在国产 VPI设备设计中取得的成功经验 ,就 VPI设备设计中各系统的组成、设计中应注意的问题和各系统所具有的特点作...
[期刊论文] 作者:徐树深,梅丽文,张建光,, 来源:真空 年份:2010
蒸发源是真空镀膜装置中一个非常重要的部件。在多个蒸发源共存的装置中,如何在设计中正确选择蒸发源与蒸发源、蒸发源与基片之间的距离就显得尤为重要,它直接关系到基板涂层...
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