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[期刊论文] 作者：许恒志,唐伟忠,于盛旺,胡浩林,惠大圣,吕反修,,
来源：功能材料 年份：2011
用射频反应磁控溅射方法制备了MeNx(Me=Ti、Zr、Hf)薄膜,研究了在富N2条件下不同的N2/Ar流量比对薄膜结构和光学性能的影响。掠角X射线衍射的分析结果表明,所制得的富氮的TiN...
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