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[学位论文] 作者：慕艾霖,
来源：黑龙江大学 年份：2016
本文基于MEMS技术给出一种磁场/压力/加速度单片集成传感器,该结构由磁场传感器、压力传感器和三轴加速度传感器构成。基于霍尔效应,由两个霍尔输出端的霍尔磁场传感器实现对...
[期刊论文] 作者：慕艾霖,赵晓锋,李宝增,温殿忠,吴亚林,
来源：强激光与粒子束 年份：2016
基于纳米多晶硅薄膜电阻的多功能传感器由压力传感器和加速度传感器构成。纳米多晶硅薄膜电阻构成的两个惠斯通电桥结构分别设计在方形硅膜表面和悬臂梁根部。采用MEMS技术和...
[期刊论文] 作者：慕艾霖,赵晓锋,李宝增,温殿忠,吴亚林,,
来源：强激光与粒子束 年份：2016
基于纳米多晶硅薄膜电阻的多功能传感器由压力传感器和加速度传感器构成。纳米多晶硅薄膜电阻构成的两个惠斯通电桥结构分别设计在方形硅膜表面和悬臂梁根部。采用MEMS技术和...
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