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[学位论文] 作者：操礼阳,
来源：苏州大学 年份：2023
低气压射频容性耦合等离子体由于其在表面刻蚀和材料生长中所扮演的独特角色而被广泛应用于微电子和太阳能电池等领域。氧气因具有较为完备的电子碰撞反应截面而常用于实验分析和数值模拟的诊断用气体。本文针对27.12 MHz射频激发的容性耦合Ar/O2等离子体,采用......
[期刊论文] 作者：周瑜,操礼阳,马晓萍,邓丽丽,辛煜,
来源：物理学报 年份：2020
利用工作在浮点模式下的发射探针,对500 Hz脉冲调制的27.12 MHz容性耦合氩气等离子体的空间电位和电子温度的时变特性进行了诊断.等离子体空间电位是通过测量强热状态下的发...
[期刊论文] 作者：操礼阳,马晓萍,邓丽丽,卢曼婷,辛煜,
来源：物理学报 年份：2021
实验通过朗缪尔探针辅助激光诱导解离技术对27.12 MHz驱动的不同含氧量条件下容性耦合Ar等离子体进行了诊断研究.通过质量流量计改变通入Ar与O2的流量以得到不同含氧量的等离...
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