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[会议论文] 作者：方承彥[1]宋震國[1]王品皓[2]李佳霖[2],
来源：第五届海峡两岸计量与质量学术研讨会 年份：2004
精密尺寸量測對於溫度的敏感度相當高,當進行高精度的量測時,環境條件必須維持在20℃附近,以得到最佳之量測結果.但是溫度的控制仍有其限制,即使在環境條件極為良好的實驗室...
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