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[会议论文] 作者：施志贵[1]杨芳[2],
来源：中国微米纳米技术第七届学术年会 年份：2005
本文介绍了一种利用硅MEMS工艺集成制造冲击片雷管的方法.首先在标准硅片上依次沉积二氧化硅、多晶硅(重掺杂)和铝,经过光刻刻蚀后形成桥单元,接下来采用阳极键合工艺在...
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