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[期刊论文] 作者:周明宝, 林大键, 郭履容, 郭永康,,
来源:光学精密工程 年份:2004
概略介绍了基于白光的双波长相移干涉表面形貌测量系统的原理,具体分析了影响测量精度的各种误差因素,给出了相应的误差计算公式和计算结果,并用模拟测量结果和实际测量结果进行......
[期刊论文] 作者:周明宝,林大键,郭履容,郭永康,
来源:光学学报 年份:2000
分析研究了白光相移干涉应用于表面形貌测量时表面形貌与干涉图像之间的关系 ,比较了两种不同光谱分布的光束的白光相移干涉特性。依据白光相移干涉中与干涉光强有关的一些特...
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