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[期刊论文] 作者：鲁伯林,智利莎,柳永丽,邹赫麟,,
来源：机电技术 年份：2015
为了对压电喷头进行有效防护,采用Parylene C作为保护层,对Parylene C的沉积厚度、图形化和与基底结合强度进行了实验研究。当Parylene C保护层的沉积厚度在450 nm至1μm时,...
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