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[学位论文] 作者：曹治赫,
来源：大连理工大学 年份：2018
晶圆背面减薄工序是半导体芯片生产流程中重要的一环，主要去除集成电路芯片背面多余的基材，目前晶圆背面减薄的主流技术是工件旋转磨削。由于磨削过程不可避免地在工件材料内产......
[期刊论文] 作者：曹治赫,乔红超,赵吉宾,
来源：光电工程 年份：2020
金属材料的激光加工目前正向着低表面粗糙度、小热影响区及大深径比结构的趋势发展。新近发展了一种基于激光-水射流耦合原理的水导激光加工技术,本文阐述了水导激光加工技术...
[期刊论文] 作者：许善策,曹治赫,王紫光,周平,,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2016
采用一种获得硅片局部位置应力状态的方法,通过测量硅片在局部位置的面形数据,结合反演计算获得该位置的平面主应力及其方向。对金刚石砂轮磨削(100)硅片的分析结果表明:不同位置的应力状态并不完全与以往的研究中通常采用的Stoney公式所计算出的平均应力相符,......
[期刊论文] 作者：曹治赫,乔红超,赵吉宾,
来源：激光与红外 年份：2021
为研究水导激光加工关键工艺参数对6061铝切槽形状与组织性能的影响,利用自研的水导激光加工设备,对6061铝开展了包括激光功率、激光重复频率、进给速度及加工次数在内的多个...
[期刊论文] 作者：林彬, 曹治赫, 周平, 康仁科,,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2018
硬脆材料超精密磨削时的表面/亚表面损伤很大程度上由磨粒切削深度决定。为更好地仿真预测磨粒的切削深度,基于现有模型和实验结果之间的差异,分析预测切深偏小的问题。结合...
[期刊论文] 作者：曹治赫, 林彬, 周平, 康仁科,,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2018
工件旋转磨削广泛用于加工单晶硅、玻璃、陶瓷等硬脆材料,预测其磨削表面纹理特征对研究磨削机理、优化磨削工艺有重要意义。基于对现有工件旋转磨削仿真模型的分析与实验验...
[期刊论文] 作者：于永飞,乔红超,曹治赫,赵吉宾,张旖诺,吴嘉俊,
来源：光电工程 年份：2020
水导激光加工是一项利用水光纤将激光引导到材料加工表面的新颖加工技术,具有几乎无微裂纹、热影响区小、无污染、重熔层少、加工精度高和光束平行等优点。为研究不同水导激...
[期刊论文] 作者：梁金盛,乔红超,曹治赫,张旖诺,赵吉宾,于永飞,
来源：激光与红外 年份：2022
为了探究不同激光功率及扫描速度下水导激光加工技术对镍基单晶高温合金加工微孔的影响规律及规律形成机理。使用自主研发的水导激光加工平台对镍基单晶高温合金CMSX-4在不同激光功率及扫描速度下进行1 mm微孔的加工。然后采用白光干涉仪、扫描电子显微镜和Visi......
[期刊论文] 作者：滕啸天,乔红超,曹治赫,赵吉宾,张旖诺,梁金盛,于永飞,
来源：激光与红外 年份：2022
为研究水导激光技术加工K424高温合金的热损伤区规律,使用自主研发的水导激光加工系统对K424高温合金薄片进行打孔实验,采用旋切法进行钻孔,并在激光穿透材料后在孔壁继续旋转几圈去边缘毛刺.将切下的圆形工件进行镶嵌、打磨、抛光、腐蚀和清洗,使用Zeiss EVO 1......
[期刊论文] 作者：于永飞,乔红超,曹治赫,赵吉宾,张旖诺,梁金盛,滕啸天,
来源：激光与红外 年份：2022
为研究水导激光加工工艺参数对材料微孔成型质量的影响，本文以高温合金GH4169为实验材料，利用水导激光设备在不同激光功率和扫描速度下进行螺旋制孔实验。采用白光干涉仪、扫描电子显微镜和能谱仪分别对加工孔的微观形貌、组织结构以及加工前后的元素含量进行测量......
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