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[期刊论文] 作者：朱元义,朱常锋,李力,朱元术,,
来源：真空 年份：2013
针对目前国内多弧离子镀膜领域存在的智能化水平不高和大颗粒污染问题,我们通过设备改进,增加了可编程逻辑控制器和磁过滤器。以装饰镀膜中常用的二氧化钛膜为研究对象,对比...
[期刊论文] 作者：朱元义,邓佩珊,朱常锋,朱文,史继富,,
来源：真空 年份：2015
本文结合多弧离子镀和磁控溅射两种镀膜方法的优点,制备了Ti N/Si O2复合薄膜。通过扫描电镜可以观察到,制备的复合膜比单纯的氮化钛薄膜更加致密和光滑,基本消除了大颗粒的...
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