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[期刊论文] 作者：李晓建,朱冀梁,申溯,周小红,陈林森,,
来源：应用光学 年份：2009
提出了一种基于数字微反射镜（DMD）微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入，经过缩微光学成像系统缩微后，在光刻胶干板上逐单元网点曝光，再经过显影、微电铸得......
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