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[学位论文] 作者：朱杨菲,
来源：华南理工大学 年份：2023
透明导电薄膜是集良好电导率和可见光透过率于一体的多功能材料。随着研究的深入,氧化锌基透明导电薄膜在光电器件领域展现出良好的应用前景。本论文采用原子层沉积（ALD）技术制备了Ga掺杂和（Ga,Al）共掺杂ZnO薄膜,探究了掺杂浓度以及快速热退火处理条件对ZnO基薄膜的......
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