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[期刊论文] 作者：崔岁寒, 吴忠振, 肖舒, 陈磊, 李体军, 刘亮亮, 傅劲,
来源：物理学报 年份：2004
筒形阴极由于具有向内放电的特性,可改善高功率脉冲磁控溅射技术放电不稳定、溅射材料离化率差异大等缺陷.然而其产生的等离子体仅能依靠浓度差扩散的方式向基体运动,沉积速...
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