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[会议论文] 作者:钱卫宁, 冯淦, 孙永强, 李奕洋, 李凯希, 黄杰, 陈志, 来源: 年份:2004
对4H-SiC外延表面缺陷的种类、形貌特征和形成机理进行了简要介绍。结合外延表面缺陷形成机理和实际外延生长经验,对不同种类表面缺陷的改善提出了一些建议和方案。希望通过...
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