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[期刊论文] 作者：吴海霞,王占和,李印增,
来源：传感器技术 年份：2003
在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,再利用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后通过铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜.利用JSM-35C扫描电子显微镜观测了该Al2O3薄膜的形貌...
[期刊论文] 作者：吴海霞,王占和,李印增,
来源：微电子学 年份：2003
在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,采用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后利用铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜。设计制作了电容式Al2O3湿度传感器,测试结果表明,该器...
[期刊论文] 作者：鉴海防,王占和,李印增,张昭勇,
来源：微电子学与计算机 年份：2005
深亚微米技术背景下,嵌入式存储器在片上系统芯片(system-on-a-chip,SoC)中占有越来越多的芯片面积,嵌入式存储器的测试正面临诸多新的挑战.本文论述了两种适合SoC芯片中嵌入...
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