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[期刊论文] 作者：李旷逸,
来源：智慧少年·故事叮当 年份：2021
小草與女孩...
[学位论文] 作者：李旷逸,
来源：华中科技大学 年份：2020
随着半导体制造节点的不断缩小,如何精确地测量套刻误差变得十分重要。为了检测光刻层之间的套准质量,通常会在半导体器件的划线槽区域加工套刻标记,然后通过测量套刻标记的套刻误差来反映器件内部的套刻质量。在众多套刻误差测量方法中,基于光学衍射的套刻误差......
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