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[期刊论文] 作者：李玉台,崔大付,刘长春,,
来源：微纳电子技术 年份：2007
描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m,色谱通道截面为矩形(宽100μm,深100...
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