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[期刊论文] 作者:李生全, 陈叮琳,, 来源:智能城市 年份:2019
高纯多晶硅作为电子材料的基石,其纯度及表金属杂质的控制是有严格要求的,当多晶硅通过一系列复杂的工艺从还原炉中生长出直至到下游厂家,其中的各个流程都有二次污染的风险,...
[期刊论文] 作者:刘常元, 李生全,, 来源:四川教育学院学报 年份:2000
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