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[期刊论文] 作者：杨浩,马泽钦,蒋洁,李镇舟,宋一兵,王江涌,徐从康,
来源：材料研究与应用 年份：2021
介绍了辉光放电发射光谱仪(GDOES)的发展和应用领域,以及测量深度谱定量分析的MRI模型.主要对单晶硅表面自然氧化的SiO2层、单层硫脲分子和Mo/B4C/Si多层光学膜进行了GDOES高分辨率深度谱的定量分析,由此获得了膜层结构、界面粗糙度及元素溅射速率等定量信息.同......
[期刊论文] 作者：马泽钦,李海鸣,庄妙霞,李婷婷,李镇舟,蒋洁,连松友,王江涌,徐从康,
来源：真空 年份：2023
飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）和脉冲射频辉光放电发射光谱（Pulsed-RF-GDOES）是两种重要的深度剖析技术，前者广泛应用于半导体工业的质量控制，后者主要应用于工业涂层及表面氧（氮）化层的分析。Mo/Si纳米多层膜由于其出色的反射特性被广泛应用于纳米光刻、极紫外显微镜......
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