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[期刊论文] 作者:赵韦人,李鸣楚,伍锦添,於元炯,
来源:金属功能材料 年份:2004
采用反应磁控溅射在不锈钢衬底上制备Cr-N薄膜,并研究了基片温度、氮气分压和溅射功率变化对薄膜相组成的影响.结果表明,基片温度升高使薄膜由单一的CrN相变成CrN和Cr2N两相...
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