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[期刊论文] 作者：杨东乔,,
来源：厦门科技 年份：1998
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[期刊论文] 作者：杨东乔,
来源：压电与声光 年份：1982
本文讨论工艺技术,以声表面波器件用的微米和亚微米线宽的叉指电极为议题,概括了国外声表面波器件工艺技术的现状,从声表面波器件实际需要的角度分析了曝光系统、制版方法、...
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