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[学位论文] 作者：杨亦赏,
来源： 年份：2012
本文研究了F-DLC薄膜的附着性能。实验制备了两种F-DLC薄膜样品，第一种采用反应磁控溅射法，以氩气（Ar）和三氟甲烷（CHF3）为源气体并利用316L不锈钢为基片，制备了F-DLC薄膜；第二种以Ar为源气体，以316L不锈钢为基片，在不同功率条件下制备了Si过渡层，并在该Si薄层上沉积了F-DLC......
[期刊论文] 作者：杨亦赏,江舸,周杨,江美福,,
来源：苏州大学学报(自然科学版) 年份：2012
研究了不锈钢基片上Si过渡层对F-DLC薄膜附着特性的影响.采用反应磁控溅射法,以Ar为源气体,在316L不锈钢基片制备了Si薄层,并在Si薄层上沉积了F-DLC薄膜,通过划痕实验测试了...
[期刊论文] 作者：戴永丰,江美福,杨亦赏,周杨,,
来源：物理学报 年份：2011
用316L不锈钢(SU316L)作基片,以高纯石墨作靶、CHF3和Ar作源气体,采用反应磁控溅射法在不同流量比R(CHF3/Ar)下制备了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.利用双蒸水液滴法、BCA(二喹啉...
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