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[期刊论文] 作者：汪政,熊兴崟,李志天,王坤锋,杨伍昊,邹旭东,
来源：传感器与微系统 年份：2020
微机电系统(MEMS)谐振式加速度计因具有动态范围大、灵敏度高、稳定性高等优点成为研究热点。针对以振荡电路为接口电路的谐振式加速度计进行系统建模和仿真分析的基础上,设...
[期刊论文] 作者：邹旭东,熊兴崟,汪政,王坤锋,杨伍昊,李志天,
来源：中国惯性技术学报 年份：2021
MEMS加速度计经过近四十年的发展,是目前产业化最为成功、应用最为广泛的MEMS器件之一。以硅微机械谐振器作为敏感元件的谐振式MEMS加速度计因具有检测精度高、线性度好、量程大、抗环境噪声能力强等优点,成为新一代高性能MEMS加速度计的重要发展方向。针对微小......
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